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MOKE系統

  • MOKE系統
MOKE系統

MOKE系統

MOKE系統

超高真空系統用于對超薄磁膜和多層電子束蒸發的薄膜沉積進行現場實時磁光克爾效應研究。

  • 本底真空范圍 10-10mbar, 150°C烘烤
  • 垂直于樣品排列的磁極
  • 磁極間場域 > 0.17 特斯拉
  • 4 軸超高真空樣品操縱器,用于操作樣品夾具
  • 樣品加熱至800°C,以及使用液氮LN冷卻
  • MOKE室光學系統(調節器、極化器、光電探測器、激光)
  • 帶設備的整個腔室安裝在定位臺上
  • 真空手提箱,便于運輸

系統特點:

  • 沉積過程中的真空:~1x10-8 mbar
  • 沉積技術:電子束蒸發(EB)
  • 表征技術:MOKE
  • 厚度測量:使用石英晶體顯示器
  • 最大場域: ~0.3T
  • 電源: 400W
  • 模塊化設計允許連接沉積模塊(MBE、PLD、磁控濺射)或分析模塊(XPS、UPS、ARPES IR等)

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